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尹韶辉

2021年09月28日 12:51  点击:[]

基本信息

姓名:
尹韶辉

系别:
机械制造工程系

职称/职务:
教授、博士生导师,岳麓学者,教育部新世纪优秀人才

湖南大学无锡半导体先进制造创新中心主任

机械与运载工程学院学术委员会副主任

国家高效磨削工程技术研究中心副主任

E-mail:
yinshaohui@hnu.edu.cn

招生信息:

u 热忱欢迎优秀学子报考硕士、博士研究生,攻读博士后,共同研发高精尖加工技术!

u 团队长期招生,每年招收博士生1-2,硕士生4-6名。欢迎对光电信息产业及半导体产业中的超精密加工技术及高端制造装备感兴趣的同学报考。

u 目前承担国家自然科学基金重点项目、国家重点研发项目及其它多个横向项目,目前在研项目经费1200多万元;

u 团队和国内外多家研究所、高校、企业建立了合作关系(日本理化学研究所、美国亚利桑那光学制造中心、住田光学、中电科集团、中车集团、湖南长步道光学、富士康集团、大族激光等),常年派遣博士生国外联培,硕士毕业生可推荐到相关国内企业实习就业。

u 团队学术氛围浓厚,精密团结协作;目前在校博士研究生9名,硕士研究生12名;近三年团队博士先后在日本理化学研究所、美国亚利桑那光学制造中心联培。毕业博士就业单位:湖南大学,长沙理工大学、湘潭大学、南华大学、南方科技大学等,毕业硕士就业单位:中国航天科工集团、季华实验室、华为、京东、比亚迪、美的、上汽大众、广本、VIVO、瑞声科技、泛亚汽车、中车、三一、中联中科等。

u 实验条件完备,拥有国内一流的纳米加工试验室和国际最先进的纳米加工设备。


教育背景

1999年-2002年,日本国立宇都宫大学,精密工程,获工学博士学位

1987年-1990年,华中科技大学,机械制造方向,获工学硕士学位

1983年-1987年,郑州轻工业大学,机械制造工艺及设备专业,获工学学士学位


工作履历

2021年至今,湖南大学无锡半导体先进制造创新中心主任

2015年至今,湖南大学/机械与运载工程学院 学术委员会副主任

2008年至今,湖南大学/国家高效磨削工程技术研究中心副主任,

湖南大学微纳制造研究所所长

2006年至今,湖南大学,机械与运载工程学院,教授、博士生导师

                    2002年-2006年,日本国立理化学研究所,研究员

                    1997年-1998年,河海大学机电工程学院,讲师

                    1990年-1997年,湘潭大学助教,讲师


学术兼职

1. 中日超精密加工国际会议(CJUMP)理事会副理事长兼秘书长

2. 中日超精密加工国际会议(CJUMP)共主席

3. 中国机械工程学会生产工程分会常务委员

4. 国际磨粒加工委员会(ICAT)委员(Active Member)

5. ELID磨削国际会议共同主席,国际先进制造会议LEM21组委会委员,国际磨粒加工会议ISSAT组委会委员

6. 中国机械工程学会生产工程分会磨削专业委员会常务委员、光整加工专业委员会常务委员、精密工程及微纳技术专业委员会常务委员

7. 湖南省人民政府学位委员会学科评议组委员

8. 湖南省侨联特聘专家

9. 《湖南大学学报》、《表面技术》《金刚石与磨料磨具工程》、《机械与电子》等杂志编委

10. 国家高效磨削工程技术研究中心工程技术委员会委员

11. 湖南省数控精密磨床工程技术研究中心专家指导委员会委员

12. 湖南省机械工程学会理事

13. 十多个国内外期刊的编委或审稿人


研究领域

研究领域:

领  域:机械工程、光学工程

研究领域:

面向光学制造、半导体制造等产业需求,解决高精尖制造工艺及装备中的卡脖子难题。

1)超精密加工、微纳制造、特种加工、智能制造技术;

2)半导体晶圆磨削/抛光/划切加工工艺与装备;

3)非球面光学纳米精度磨削/抛光/多能场制造工艺与装备。

具体研究方向:

1. 非球面光学透镜及光学模具的超精密加工工艺及装备研发;

2. 微结构/微尺度/非球面透镜超精密热压成型技术研发;

3. 第三代半导体晶圆减薄磨削、CMP抛光工艺及装备研发;

4. 磁流变化学纳米研磨工艺及装备研发;

5. 超精密在位/在线测量技术研发;

6. 超精密/纳米加工及成型过程仿真;

7. 复杂曲面超精密/纳米加工数控软件研发;

8. 加工过程视觉检测及监控技术研发



科研项目

在研项目:目前在研项目经费1200多万元。

1.国家自然科学基金重点项目,微光学玻璃元件纳米精度热压成型基础研究,300万元,20221月-2026年12月,批准号:52130503,负责人。在研;

2.国家重点研发计划,高精度微结构玻璃透镜阵列模压关键技术合作研究,280万元,批准号:2017YFE0116900201901 202112月,负责人,在研

3.国家自然科学基金项目,海尔贝克阵列磁场励磁的碳化硅晶片高效磁流变化学机械抛光,80万元,批准号:52075160,2021年01月至 2024年 12月,负责人,在研;

4. 国家重点研发计划,SiC 晶片精密磨削在位视觉测量及砂轮磨损补偿加工关键技术合作研究,260万元,批准号:2017YFGH002059,2020年01月 至 2022年12月,主要参加,在研;

5. 企业委托横向课题,非球面纳米机床研制,280万元,负责人,在研;

6. 湖南省先进复合制造国际科技创新合作基地,依托单位:湖南大学,基地负责人,2018.03-2023.05, 负责人,在研;

已结题项目:

7.国家高档数控机床与基础制造装备重大专项,小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,2010年1月至2012年12月,批准号:2010ZX04001- 151,负责人。已结题;

8. 教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目,微小非球面纳米加工关键技术研究,2009 年1月至2011年12月,负责人。已结题;

9. 国家863计划,微小非球面超精密复合加工机床,2007年12月-2010年12月,批准号:2006AA04Z335,负责人;已结题;

10.  国家重点科技支撑计划,车用光学透镜及模具超精密研磨加工装备与工艺,2008 年1月至2010 年12月,批准号:2007BAF29B03,负责人。已结题;

11. 国家自然科学基金项目,大面积匀强磁场励磁的蓝宝石晶片高效磁流变化学平整加工,2017年1月至2020年12月,批准号:51675171,负责人;已结题;

12. 国家自然科学基金项目,基于磁控磨粒均布的复合基微细砂轮制备方法研究 ,2012年1月至2015年12月,批准号:51175167,负责人。已结题;

13. 国家自然科学基金项目,应用磁性复合流体进行微小非球面纳米抛光的机理及试验研究,2010年1月至2012年12月,批准号:50975804,负责人。已结题;

14. 国家自然科学基金项目,微细透镜及模具的无电极ELID斜轴磨削工艺的理论及实验研究,2007年1月至2009年12月,批准号:50675064,负责人;已结题;

15. 国家自科基金中澳合作基金项目,微光学元器件的纳米制造技术研究,2008 年1月至2009年12月, 批准号:50811120105,负责人。已结题;

16. 国家科技支撑计划重大项目,电火花放电沉积的磨床用金属基体砂轮再制造技术及装备研发与应用示范,2007年12月-2010年12月,批准号:2006AA04Z335,主要参加。已结题;

17 国家“高档数控机床与基础制造装备” 科技重大专项,高效磨削创新能力平台,2011年1月至2013年6月,批准号:2010ZX04016-041,主要参加。已结题;


学术成果


出版《小型光学非球面制造与测量新技术》、《磁场辅助超精密光整加工技术》等专著6部。发表学术论文260余篇,大会特邀报告50多次,授权专利40多项。

专著:

1. 尹韶辉,陈逢军等,小型光学非球面制造与测量新技术,科学出版社,国家科学技术学术著作出版基金资助出版,第一著者,2020

2. 尹韶辉,磁场辅助超精密光整加工技术, [ISBN 978-7-811113-502-2],湖南大学出版社,独著,2008。

3. Hitoshi Ohmori,Loan D. Marinescu,Kazutoshi Katahira ,Shaohui Yin,Masayoshi Mizutani, Tetsuya Naruse,Electrolytic In-Process Dressing (ELID) Technologies: Fundamentals and Application:Chapter 9 “ELID grinding Application”,合著,2011。

    4.  Know-how technology of mold/die manufacturing, Hitoshi Ohmori, Weimin Lin, Shaohui Yin, “Finishing process of Lens mold material by using ELID- grinding and MRF”, Edit  by Tool engineering, Japan, [ISBN 4-88661-326-8 C3353],合著,2005。

    5. 机械工程学科发展报告(2008-2009),[ISBN 978-7-5046-4937-9,]中国科学技术协会,中国机械工程学会主编,中国科技出版社,合著,主笔“微纳制造技术”一章,2009

    6. 湖南大学机械科技发展报告(2010-2020),[ISBN 978-7-811113-756-9,]湖南大学机械与运载工程学院主编,湖南大学出版社,合著,2010

代表性论文

1. 舒成松,董浩,尹韶辉,大和紀雄,李四清.高精度微结构玻璃光学元件阵列模压技术研究进展[J].光学精密工程,2020,28(09):1967-1985.

2. Yingying Zhang, Shaohui Yin , Rongguang Liang, Hong Luo, Huapan Xiao, and Ningxiao Yuan, "New testing and calculation method for determination viscoelasticity of optical glass," Opt. Express,28, 626-640,2020,

3. Yingying Zhang, Rongguang Liang, Oliver Spires, Shaohui Yin, Allen Yi, and Thomas Milster. Precision glass molding of diffractive optical elements with high surface quality,Optics Letters,45(23),6438-6441,2020

4. Xiaojie Li, Shaohui Yin, Shuai Huang, Hu Luo, Qingchun Tang. Fabrication of durable superhydrophobic Mg alloy surface with water-repellent, temperature-resistant, and self-cleaning properties, Vacuum, 2020; 173,109172.

5. Hu Luo, Shaohui Yin, Shuai Huang,et.al. Fabrication of slippery Zn surface with improved water-impellent, condensation and anti-icing properties, Applied Surface Science, 2019.3.15, 470(1):1139~1147

6. 尹韶辉,龚胜,何博文,陈逢军,尹自强,小口径非球面斜轴磨削及磁流变抛光组合加工工艺及装备技术研究,机械工程学报,2018, 54(21),205-211,

7. 王永强; 尹韶辉,大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究,机械工程学报,2018,8

8. Luo Hu, Lu Yao, Yin Shaohui, Huang Shuai , Song Jinlong, Chen Faze, Chen Fengjun, Carmalt Claire J., Parkin Ivan P. Robust platform for water harvesting and directional transport[J]. Journal of Materials Chemistry a. 2018, 6(14): 5635-5643.

9. Luo Hu, Yin Shaohui, Zhang Guanhua, Tang Qingchun, Gen Junxiao, Huang Shuai. Study of superhydrophobic surface in self-cleaning of magnetorheological fluid[J]. Journal of Materials Science. 2018, 53(3): 1769-1780.  

10. Luo H, Guo M, Yin S, et al. An atomic-scale and high efficiency finishing method of zirconia ceramics by using magnetorheological finishing[J]. Applied Surface Science, 2018,444:569-577.  

11. Qingchun Tang, Shao-Hui Yin, Yi Zhang, Jiazhu Wu. A Tool Vector Control for Laser Additive Manufacturing in Five-Axis Configuration, Int J Adv Manuf Technol. (2018) 98:1671–1684 .

12. Luo H, Yin S, Zhang G, et al. Optimized pre-thinning procedures of ion-beam thinning for TEM sample preparation by magnetorheological polishing.[J]. Ultramicroscopy, 2017, 181:165.

13. S.H. Yin, H.P. Jia, G.H. Zhang, et al. Review of small aspheric glass lens molding technologies. Frontiers of Mechanical Engineering, 2017, 12(1): 66-76

14. Yongqiang Wang, Shaohui Yin, Han Huang. Polishing characteristics and mechanism in magnetorheological planarization using a permanent magnetic yoke with translational movement. Precision Engineering, 2016, 43:93-104

15.  龚胜, 王永强, 尹韶辉, 陈逢军, 康仁科, 叶冰, 胡天. 应用环形磁场控制的微粉砂轮制备及其磨削性能. 机械工程学报, 2016, 52(17), 78-85 ( EI 收录)

16. 尹韶辉, 陈逢军, 龚胜,等. 小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床的研发 与应用[J]. 世界制造技术与装备市场, 2016(4):24-29.

17. 尹韶辉, 王永强, 李叶鹏,等. 蓝宝石基片的磁流变化学抛光试验研究[J]. 机械工程学报, 2016, 52(5):80-87. ( EI 收录)

18. Zhiqiang Xu, Shaohui Yin, Fengjun Chen, Jianwu Yu. Two-axis ultrasonic vibration transducer driven by single actuator and its application in precision polishing. International Journal of Abrasive Technology.  

19. Yongqiang Wang, Shaohui Yin, Magnetorheological Polishing Using a Permanent Magnetic Yoke with Straight Air Gap for Ultra-smooth Surface Planarization. Precision Engineering.

20. Fengjun Chen, Shaohui Yin, Hitoshi Ohmori, Jianwu Yu. Form error compensation in single-point inclined axis nanogrinding for small aspheric insert. Int J Adv Manuf Technol (2013) 65:433–441.  

21. 陈逢军,尹韶辉,胡天,余剑武.微小非球面光学模具单点斜轴误差补偿磨削.机械工程学报. 2013,   49(17):59-64  

22. 尹韶辉, 徐志强,陈逢军,余剑武. 一种小口径非球面斜轴磁流变抛光技术[J].机械工程学报,2013,49 (17) 33-38.  

23.  尹韶辉,朱科军,余剑武,朱勇建,陈逢军.小口径非球面玻璃透镜模压成型.机械工程学报,2012,2012, 48(15):182-192. (EI)

24.  F. J. Chen , S. H. Yin, H. Huang, H. Ohmori, Y. Wang, Y. F. Fan, Y. J. Zhu, Profile error compensation in ultra-precision grinding of aspheric surfaces with on-machine measurement, International Journal of Machine Tools & Manufacture, Vol. 50, Issue 5,  pp.480-486,2010

25. Shaohui Yin , Hitoshi Ohmori, Qing Liu, Shinnya Morita, Fengjun Chen, Muneaki Asami, Yufeng Fan, ELID grinding characteristics of large stamping die for Wolter mirror, Journal of X-Ray Science and Technology,Vol.17, No.3, pp.265-277, 2009

26. Shaohui Yin, Hitoshi Ohmori , Yutang Dai,  Yoshihiro Uehara,  Fengjun Chen, Hengning Tang:ELID grinding characteristics of glass -ceramic materials, International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol.49, No.3-4, pp.333-338. 2009

27. Shaohui Yin, Shin-ya Morita, Hitoshi Ohmori, Yoshihiro Uehara, Weimin Lin, Qing Liu, Toshinori Maihara, Fumihide Iwamuro, Daisaku Mochida: ELID Precision Grinding of Large Special Schmidt Plate for Fibre Multi-object Spectrograph for 8.2m Subaru Telescope, International Journal of Machine Tools & Manufacture,Vol.45, No.14, pp.1598-1604.  2005

28.  Shaohui Yin(尹韶辉), Takeo Shinmura: Vertical vibration assisted magnetic abrasive finishing and deburring for magnesium alloy, International Journal of Machine Tools & Manufacture , Vol.44, No.12-13,  pp. 1297-1303.       2004

29. Shaohui Yin, Takeo Shinmura:  A comparative study: Polishing characteristics and its mechanisms of three vibration modes in vibration- assisted magnetic abrasive polishing,International Journal of Machine Tools & Manufacture Vol. 44, No.4, pp.383-390. 2004

30. Shaohui Yin, Hitoshi Ohmori, Yoshihiro Uehara, Tomoyuki Shimizu, Weimin Lin:Large Number of Micro V-grooves Fabrication of Large Germanium Immersion Grating Element for Mid-infrared Spectrograph by Ultraprecision Micro-grinding Technique, International Journal of Japan Society of Mechanical Engineering,  Series C, Vol. 47, No. 1,pp.59-65. 2004


奖励与荣誉

1. 湖南省科学技术进步奖一等奖,“光电材料超精密加工技术及装备第一完成人,湖南省人民政府授奖,2019

2. 中国机械工业科学技术奖一等奖,“微小非球面光学模具纳米精度加工技术及装备”。第一完成人,中国机械工程学会与中国机械工业联合会授奖,2011

3. 中国机械工业科学技术奖二等奖,“硬脆材料高效高精磨抛划切关键工艺及成套装备”,第一完成人,中国机械工程学会与中国机械工业联合会授奖,2018

4. 上银优秀机械博士论文奖佳作奖,博士论文《大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究》(作者王永强博士,指导教师尹韶辉教授),台湾上银科技股份有限公司与中国机械工程学会授奖。2017

5. 中国侨界贡献奖(创新人才),中国侨联授奖,2016

6. 中国第二届出版政府奖(图书奖)提名奖,专著“磁场辅助超精密光整加工技术”,排名第一。中国新闻出版总署,2010

7. 湖南省湖湘优秀出版物奖一等奖,专著“磁场辅助超精密光整加工技术”,排名第一, 2010

8. 中国机械工业科学技术奖一等奖,“异形零件高速精密磨削关键技术与高速随动数控磨床”。排名第九。中国机械工程学会与中国机械工业联合会授奖。2010

9. Nanoman2012 国际纳米制造会议优秀论文奖,“One point nano-grinding of micro aspherical  lens mold ”,第一完成人, 国际纳米制造会议组委会,2012;

10. Nanoman2012 国际纳米制造会议突出贡献奖,第一完成人,国际纳米制造会议组委会,2012;

11. CJUMP2013,第九届中日超精密加工国际会议突出贡献奖,第一完成人,2013;

12. 第六届中日超精密加工国际会议优秀论文奖,Fabrication of Micro-lens Mould by using Ultra-precision Micro-Grinding Process,排名第一。2008;

13. 日本国立理化学研究所理事长奖,SUBARU望远镜第二代观测装置中间红外线高分散分光器的研究与开发,理化学研究所理事长野依良治(诺贝尔奖化学奖获得者)颁发,排名第一,2004

14. 21世纪先进制造技术国际会议最佳论文奖,SUBARU望远镜第二代观测装置中间红外线高分散分光器的研究与开发(LEM21,日本),日本机械学会,2003

入选人才计划及荣誉奖励

15. 教育部新世纪优秀人才支持计划,2008;

16. 岳麓学者,2016;

17. 湖南省高层次学术带头人计划,2008;

18. 长沙市创新创业领军人才,2015

19. 2011-2016年度中国机械工程学会先进工作者称号

20. 湖南大学科研标兵,湖南大学,2011

21. 湖南大学科技创新奖,湖南大学,2008

22. 湖南大学优秀引进人才奖,湖南大学,2006

 主要获奖成果介绍

1. 系统研究和发展了硬脆光电材料的超精密制造理论和方法,研制了超精密镜面磨削、高效率超光滑磁流变抛光、全自动高精高效划片等多项关键新工艺及新装备,在半导体、光电信息及航空航天产业成功应用与推广。成果“光电材料超精密加工技术及装备”获2019年湖南省科技进步一等奖(第一完成人);2020年由湖南省推荐申报“国家技术发明奖二等奖”

2. 系统研究和发展了非球面纳米级精度加工理论和方法,成功研制出“微小非球面光学模具纳米精度加工技术及装备”,在光学制造产业得到广泛推广应用,获2011年中国机械工业科学技术奖一等奖(第一完成人);

3. 2006年回国以来主持国家“863计划”项目、国家科技支撑计划重点项目、国家科技重大专项项目、国家重点研发计划项目等20多项。先后获中国机械工业科学技术奖一等奖2项,二等奖1项,上银机械博士论文奖1项,中国出版政府奖(图书奖)提名奖1项,湖南省湖湘优秀出版物奖一等奖,国际会议最佳论文奖8项,出版专著6部,获2016年中国侨界贡献(创新人才)奖。

4. 发明了高效低损伤的面接触磁流变抛光方法,研制出高效率低损伤面接触磁流变抛光装备,攻克了硬脆材料抛光效率低、损伤大的难题,实现了高效率极低损伤的超光滑表面抛光。指导的王永强博士论文《大抛光模磁流变超光滑平面抛光技术研究》获第七届上银优秀机械博士论文奖佳作奖(2017)。

5. 取得一批产业化应用成果:研发的小型非球面光学模具纳米精度加工技术及装备、非球面玻璃透镜模压技术、半导体全自动划片工艺及装备、高效率超光滑磁流变抛光技术及装备在光电信息、半导体、航空航天等产业广泛推广应用。

 

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